用户单位名称：天津爱旭太阳能科技有限公司
案例类型：支撑企业创新
使用仪器：辉光放电质谱仪
服务单位：信息产业专用材料质量监督检验中心
案例说明：
太阳能电池用单晶硅中主要杂质（B、Ga、Fe、Cr、Ni、Cu等元素）的含量都在ppb-ppm量级，所以能满足测试要求的方法不多。辉光放电质谱（GDMS）具有样品的前处理过程简单、分析速度快、基体效应小、线性范围宽、检出限低的特点，而且同一次扫描可对基体元素(达100%)、痕量元素（ng/g以下）以及两者之间的所有元素进行分析，特别适合多种元素的同时测定，所以最终确定采用辉光放电质谱（GDMS）测试。太阳能电池用单晶硅片，厚度约为0.3毫米，在硅片上进行掺杂和扩散工艺等，一般掺杂物为微量的硼、磷、镓等。该方法需要解决两项关键技术：1.制样：因为硅片很薄，制样过程中很容易破碎。我们采用特殊的工具及制样方法，将样品切割成合适的大小，并调节合适的压力，既要确保样品不破碎，又要使其与样品架底部紧密贴合、不漏气、导电良好。2.因为样品本身已经很薄，不允许再进行抛光处理，但表面特殊工艺处理后，比较粗糙，不能直接测试。所以测试时，采用预溅射的方法，先将样品表面剥蚀到一定深度，然后再测试、采集数据，确保测试的结果准确。经过调试仪器、优化测试条件，太阳能电池单晶硅中主要杂质的检测限都能达到10ppbw以下（见下表）。表.太阳能电池用单晶硅硅中主要杂质的检测限
帮用户成功解决了太阳能电池用超薄单晶硅中重要杂质的测试难题，检测限极低，完全满足用户需求。
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