单位名称：清华大学天津电子信息研究院
案例类型：支持企业创新、京津冀区域协作
服务名称：TEM样品制备
使用仪器：聚焦离子束刻蚀FIB
服务单位：北京聚睿众邦科技有限公司
服务内容：
聚焦离子束(Focused Ion beam, FIB)是一种利用电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的显微切割仪器，利用该设备为企业进行透射电子显微镜（TEM）测试样品的制备。
服务成效：
北京聚睿众邦科技有限公司，是一家拥有中国科学院背景的，专业从事实验室共享与知识成果转化的国家高新技术企业。该企业需要采用球差校正透射电镜分析材料的晶体结构、原子结构、元素价态和成分分布，球差校正透射电镜测试对样品要求很高，企业没有制备高质量透射样品的能力。我院的聚焦离子束扫描电镜双束系统（FIB-SEM）配有气体注入系统和纳米机械手，可以进行高质量球差校正透射样品的制备，我院利用FIB-SEM将企业的样品厚度减薄至40nm以下，薄区面积可达6*6μm，损伤层可以控制在5nm以下，符合球差校正透射电镜测试的样品要求，使企业能够顺利的完成球差校正透射电镜测试，帮助企业完成研发项目，实现企业快速成长。
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