单位名称：信息产业专用材料质量监督检验中心
案例类型：京津冀区域协作
服务名称：器件表面钝化层成分组成的测定
使用仪器：X射线光电子能谱（XPS）和俄歇电子能谱（AES）
服务单位：保定四方电力控制设备有限公司
服务内容：
保定四方电力控制设备有限公司主要经营包括输配电及控制设备、电线、电缆、光缆及电工器材等，器件性能直接影响设备的整体性能，因此该公司向我们提出对器件表面钝化层成分组成测定的需求。
实验样品边长约为3mm的独立器件芯片，由于样品需要进行两种深度测试，为了确保两种测试的溅射过程不互相干扰，采用掩膜法对非分析区域进行保护。然后利用AES深度剖析样品，由于溅射速率不好掌握，同时器件表面各层厚度未知，首先采用比较低的溅射速率（束斑（2×2）mm）进行分析，在对样品表面有了一定了解后，为提高测试效率，改为高溅射速率束斑（（1×1）mm），并且测试的元素种类也进行相应的调整。
整理实验结果，表明表面沾污C元素为零，Si、O元素约为2:3的比例，大于SiO2的1:2，可见表面不是严格意义的SiO2，没有发现其它元素存在。
服务成效：
XPS和AES作为表面分析手段而广泛应用于多个领域的表面界面分析中，而XPS应用则更加广泛。同时两种分析手段又各有长短，随着科学技术的发展，特别是纳米技术在各个领域的广泛应用。
XPS和AES测试器件表面钝化层成分的方法得到的结果能够指导厂家提高器件的生产工艺，测试完成后，保定四方电力控制设备有限公司对于测试结果十分满意。
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