新版首页头部
当前位置:首页 / 共享故事
薄硅晶片中氧、碳含量测试新方法的建立
发布时间:2018-10-12 14:09:25

单位名称:信息产业专用材料质量监督检验中心

案例类型:京津冀区域协作

服务名称:薄硅晶片中氧、碳含量测试新方法的建立

使用仪器:傅里叶变换衰减全反射红外光谱( ATR-FTIR)

服务单位:保定光为绿色能源科技有限公司

服务内容:

  保定光为绿色能源科技有限公司的业务主要涉及光伏组件的涉及、制造和销售,产品和服务涵盖了从多晶硅铸锭、硅片、光伏电池片、光伏电池组件的生产和销售的整个光伏行业产业链,是全球太阳能光伏行业为数不多的垂直一体化整合的光伏企业之一。

  目前,随着太阳能电池的发展,需要用到300 μm以下的薄硅片做为电池基底材料。但国内现有的氧、碳含量测试标准只适应于厚硅片的测量,这是因为样品厚度在500μm以下时,测量时会产生干涉效应,致使测试谱图噪声过大,无法对硅片中氧、碳含量进行计算。保定光为绿色能源科技有限公司为了进一步发展其光伏产业,在研发超薄硅片时需要测试氧、碳含量,委托我中心进行检测。

服务成效:

  为了解决检测技术难题,我们首先从原理上分析,设计了一种新的检测方法,在样品制备、仪器参数设置等多方面进行了改进,改进后的方法完全达到和超过了现行国家标准要求的精度。(GB/T 1557-2006硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法、GB/T 1558-2009硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法)

  实际测试结果不仅达到了技术上的预期要求,也得到了委托方的高度认可。另外,该测试方法还可以扩展到测试砷化镓薄晶片中的杂质含量。





津ICP备05001152号     津公网安备 12010302000962号